FSM-id kasutavad metalli (alumiinium või berüllium) või ränikarbiidi substraate olenevalt rakenduse erinõuetest.Saame pakkuda peeglitele praktiliselt kõiki katmisnõudeid alates tavalistest metallkatetest kuni suure peegeldusvõimega dielektriliste kattekihtideni, mis on mõeldud suure energiatarbega laseri (HEL) rakenduste jaoks.BlueHalo FSM-id tagavad suure kiirenduse;>10 000 radiaani/s2 meie 1–2-tollise FSM-i klassi jaoks.Meie FSM-id saavutavad suure ribalaiuse (>1 kHz optiline või asend, olenevalt suurusest) ja pakuvad madalat värinat <1 µrad.
Peegli suurus | 4 tolli | 6 tolli | 8 tolli | 10 tolli | > 10 tolli | 4 tolli | 6 tolli | 8 tolli | 10 tolli | > 10 tolli |
Resolutsioon | 1–3 μrad | 3–5 μrad | 1–3 μrad | |||||||
Suletud ahela ribalaius | 100~300Hz (@1% reisimine) | 10 ~ 200 Hz (@1% reisimine) | ||||||||
Samm vastus | 4~10 ms (@1% reisi) | 3 ~ 30 ms (@1% reisi) | ||||||||
Nurgavahemik | ≤ ±25 mrad | |||||||||
Korratavus | ≤±5μrad | ≤±3~ ±10μrad | ||||||||
Töötemperatuur | -40 ℃ ~ 70 ℃ | |||||||||
Säilitustemperatuur (℃) | -55 ℃ ~ 85 ℃ | |||||||||
Vibratsioonivastane | GJB 150.16A-2009 | |||||||||
Löögivastane | GJB 150.18A-2009 |